半導体コーティング機器の自動制御ソリューション

半導体コーティング機器の自動制御ソリューション

事件の背景:
半導体産業では,光電解像工法において,光抵抗剤や他の機能材料をウェーファーや基板に塗装する機械が不可欠である.スピンコーティングまたはスプレーコーティング方法を使用する精密な厚さ制御,優れた均一性性能,高度なコーティング機器が装備されています.高精度位置位置付けシステム生産効率を向上させ,一貫したコーティング品質を確保するために,自動化されたロード/卸荷腕とリアルタイムフィードバック制御システムを備えています.

解決策:

• メインコントローラ:OMRON PLC

• 適用されるプロセス:コーティング

• プロジェクト I/O 構成:MTC-EEC-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2

• 年間使用量:100万セット

このプロジェクトでは,顧客はOMRON PLCをDecowellのMTCバルブアイランド製品と統合し,コーティング機器のためのコンパクトで効率的な気圧制御システムを構築します.電磁弁は,精密にスプレーノズルの垂直および水平運動を制御するためにシリンダーを駆動補充シリンダーは,自動的な積載と卸載の腕を動かし,コートとコンベヤーシステムとの間に基質を輸送します.

このシステムは,位置センサーと磁気スイッチの簡単な接続を可能にするバルブ島内にI/Oモジュールを組み込む.この設計により,配線の複雑性が軽減され,保守性が向上する.モジュール構造でこのシステムは,さまざまな機器の構成に対応するための優れたスケーラビリティと柔軟性を提供します.

応用上の利点:

• 高度な統合は,配線を削減し,パネルスペースを節約します

• 将来のシステムアップグレードのための拡張可能なI/Oモジュール

• スプレーノズルとハンドリングアームの正確な動き制御

• 安定した,高効率な性能で 大量生産に適しています