DECOWELL RSシリーズ I/Oは光抵抗性コーティングプロセスのスマート制御システムを可能にします
光電子、半導体、マイクロエレクトロニクスなどの高精度産業において、フォトレジスト塗布プロセスはフォトリソグラフィーにおいて重要な役割を果たします。製品の迅速なイテレーションと歩留まり管理の強化に対する需要が高まるにつれて、塗布装置は、よりインテリジェントで柔軟かつ信頼性の高い制御システムを特徴とするように進化する必要があります。
フォトレジスト塗布：精密さはよりスマートな制御を要求
このプロセスには、感光性基板に機能性フィルムを均一に塗布し、その後の露光および現像段階での正確なパターン転写を保証することが含まれます。温度、湿度、塗布厚さなどの環境要因は、高品質の結果を維持するために継続的に監視し、正確に制御する必要があります。
最近のプロジェクトでは、顧客はSiemens S7-1200 PLCをメインコントローラーとして採用し、DecowellのRSシリーズProfinet I/Oモジュールと統合しました。このシステムは、分散型で柔軟なI/Oソリューションを実装することにより、多様な信号タイプ、複数の制御ポイント、およびスペースが限られたレイアウトなどの主要な課題に対応しました。
ソリューションのハイライト：RSシリーズI/Oモジュール+ Siemens PLC + Profinet通信
システム構成：
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マスターステーション： 1 × RS-PN2
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デジタル入力： 4 × 16DI
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デジタル出力： 4 × 16DO
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アナログ入力： 1 × 8AI
システム全体は、Siemens PLCとProfinet経由で通信し、リアルタイムのセンサーデータを収集し、攪拌モーター、スプレーユニット、加熱モジュールなどの主要な機器を制御し、最適な塗布品質とプロセスの安定性を確保します。
Decowell RSシリーズ分散I/Oを選ぶ理由
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柔軟な分散設置
モジュールはフィールドデバイスの近くに設置できるため、ケーブルの長さと配線時間を大幅に削減し、全体的な展開を合理化できます。 -
主流PLCとの高い互換性
Profinetプロトコルの完全サポートにより、Siemensおよびその他の主要なPLCシステムとのシームレスな統合が可能になり、開発時間の短縮と信頼性の確保に貢献します。 -
重要なプロセスパラメータの正確な制御
アナログモジュールは、温度、湿度、塗布厚さなどの主要な変数を監視し、最適なプロセス条件をリアルタイムで維持します。 -
安定したサプライチェーンによるスケーラブルな展開
年間30,000台以上のボリュームで、このソリューションは、実績のある安定性と性能を備え、複数のハイエンド電子材料製造ラインで広く採用されています。
結果の概要
Decowell RSシリーズI/Oモジュールを実装することにより、塗布システムは以下を達成しました。
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環境およびプロセスパラメータのリアルタイム監視
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複数のアクチュエータの正確な制御
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アップグレードを容易にするモジュール式システム設計
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塗布均一性と製品歩留まりの向上
インテリジェントな製造が加速するにつれて、柔軟でスケーラブルで、メンテナンスが容易な制御システムが、生産ラインのアップグレードに不可欠になりつつあります。Decowell RSシリーズ分散I/Oモジュールは、高度なフォトレジスト塗布アプリケーションの最適な選択肢として急速に台頭しています。