アプリケーションの背景:
ウェーハソーターは、半導体製造における重要な装置であり、事前に定義された品質基準に従ってウェーハを自動的に分類し、ビンに振り分けるために使用されます。視覚検査、電気的テスト結果、その他の基準に基づいてウェーハを評価し、良品をそれ以外から自動的に分離します。このシステムは通常、高度なビジョン検査ユニットと自動マテリアルハンドリングを統合し、高い検査精度と高いスループットを同時に実現します。ウェーハソーターは、IC、光電子、その他の電子部品の生産ラインで広く使用されており、自動化の向上、人的ミスの削減、最終製品の品質と信頼性の維持に役立っています。

ソリューションの概要:

• メインコントローラー: Siemens PLC

• プロセスセグメント: ウェーハの分類と選別

• プロジェクトI/O構成: 3RS-PN2 + 916DI + 916DO + 18AI

• 年間使用量: 約300,000 I/Oポイント

プロジェクトの説明:
このプロジェクトでは、Siemens S7-1200 PLCをコアコントローラーとして採用し、複数のI/Oモジュールと組み合わせて、効率的で信頼性の高いウェーハ選別制御システムを構築します。PLCは、光電センサー、変位センサー、温度センサー、ビジョン検査システムからの判定結果など、さまざまなフィールドセンサーからの信号を受信し、ウェーハ表面の品質と環境条件をリアルタイムで監視します。このデータに基づいて、PLCはレーザースキャンデバイス、搬送ロボット、選別アクチュエータを正確に制御し、高速検査、自動ビンニング、正確なアンローディングを実現します。

このインテリジェントな監視および制御システムを通じて、ウェーハソーターは選別効率を大幅に向上させると同時に、検査結果の精度と再現性を確保し、安定した量産を強力にサポートします。

アプリケーションの利点:

• 複数のウェーハサイズとトレイフォーマットをサポートし、柔軟なパネルオプションを提供します。

• モジュール式I/Oの組み合わせにより、ラインのタクトとステーションのニーズに応じて容易に拡張できます。

• 高精度な検査と安定した選別により、手作業による介入と欠陥の見落としを削減します。

• 集中PLC管理により、レシピベースのプロセス制御と、完全な品質トレーサビリティのための履歴データロギングが可能になります。